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目前，燃烧方法包括直接燃烧，热力燃烧和催化燃烧。直接燃烧方法是将废气中的可燃有害成分作为燃料燃烧处理。热燃烧方法适用于可燃机械材料含量低的废气净化处理。由于可燃有机物含量低，燃烧时必须加入辅助燃料，也称为催化氧化，是通过添加催化剂以降低氧化反应所需的温度来降低氧化所需能量的方法。它已被用于金属印刷，漆包线，焦化，涂料，涂料和化学工业中的有机废气处理。燃烧方法的缺点是燃烧过程中产生的燃烧产物和反应后的催化剂经常需要二次处理；该方法不适用于在燃烧过程中产生大量硫氧化物和氮氧化物的废气；并含有挥发性有机化合物中的氯。在原子团的情况下，燃烧产物易于引起设备腐蚀，此外，可能会产生具有更大毒性效应的产品，如二恶英。
低温等离子体技术，也称为非平衡等离子体技术，是一种高能粒子，在施加的电场作用下通过介电放电产生战争。高能粒子和有机污染物分子经历一系列复杂的等离子体物理化学反应，有机污染物被降解成无毒无害的物质。低温等离子体技术包括电子束照射方法，介质阻挡放电方法，沿面放电方法和电晕放电方法。低温等离子体的特征在于低密度，接近室温和高温的重粒子温度。整个系统的宏观温度不高，其电子和离子具有高反应性。虽然VOCs的低温等离子体处理起步较晚，但在工业VOCs的处理方面有一些应用。
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