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PH3常用的处理方法是PH3进入燃烧炉中与空气混合燃烧后产生磷酸雾，并在吸收塔中用水吸收得到工业磷酸。该过程简单易行。目前，国内大多数次磷酸钠制造商都采用这种方法处理磷化氢尾气。但这种处理方法也存在两个缺点：一个是磷化氢在处理的过程中，会有少量的磷化氢和磷酸雾被排放到大气中，这对环境造成一定的污染。二是PH3转化成廉价的磷酸，降低了生产的经济效益。
吸附方法分为物理吸附和化学吸附。物理吸附法采用活性炭，不含任何化学吸附剂进行吸附。该方法基本上只能用于纯化极少量的PH3净化。目前，化学吸附的应用更多
活性炭吸附法：活性炭用于吸附废气中的PH3，未处理的活性炭无吸附作用。
金属氧化物吸附方法：该方法首先将气流加热至足够高的温度，使PH3分解成磷蒸气，然后使气流通过反应器进行反应，净化有害气体并将其排放到大气中。
低温吸附法：该方法是可以在低于10℃下使用的方法，与气体接触的吸附剂的组成是至少一种金属氧化物。
对于PH3气体的净化，各种方法各有优缺点。燃烧方法主要用于高浓度PH3气体的净化，最普遍使用的是液相吸收氧化法
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